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KOR
NDIR NF₃
비분산적외선(NDIR) 방식 NF₃ 센서 (0–50 ppm)
DESCRIPTION
NDIR NF₃ 센서 카트리지는 반도체 제조 환경에서 질소 트리플루오라이드(NF₃)를 정밀하게 감지하기 위해 설계된 고신뢰성 비분산적외선(NDIR) 센서입니다. 우수한 안정성, 빠른 반응 및 회복 속도, 넓은 작동 범위를 제공하여 정확하고 일관된 가스 모니터링을 보장합니다. SENKO의 SI-H100 시리즈에 최적화되어 중요한 안전 및 공정 응용 분야에서 안정적인 성능을 제공합니다.
KEY SPECIFICATIONS
- 측정 범위: 0–50 ppm
- 분해능: 1 ppm
- 반응 시간: T62.5 < 20초
- 정확도: 측정값의 ≤ ±20%
- 최소 검출 한계 (LDL): 4 ppm
- 출고 알람값: 10 ppm / 20 ppm
- 작동 수명: 24개월 이상
- 작동 조건: 10℃ ~ 40℃, 0–90% RH (비응축)
- 우수한 선택성: IPA, 에탄올, Galden에 대한 교차 감응 없음
